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표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

검색글 Kazuyoshi UENO 3건

습식도금 자료분류

자료수 10821 건
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Pstation Data Box · 2019 ⋅ S.I.HONG ⋅
습식 표면처리 개발을 위한 연구/문헌 자료실 (로그인 필요) 이용을 환영합니다. 검색(로그인 필요)은 아래 내용을 참조하여 주시기 바랍니다. 외뢰어는 기본적으로 한글 표준 발음 (포리머 → 폴리머 / 알카리 → 알칼리)을 사용하였습니다. 많이 사용되는 용어는 일반관 용어 (Nickel → 니켈) / (신주 /...

미세배선에 이용되는 구리도금막에 관하여, 피막중의 불순물과 그들의 영향에 관하여 설명

구리/합금 · 표면기술 · 63권 4호 2012년 · Kazuyoshi UENO · 참조 9회

입계 산란을 줄이기 위해서는 입계의 감소 즉 입자 크기의 확대가 유효하다고 생각된다. 구리 배선에 사용되는 구리는 황산 구리도금욕을 이용한 전기도금에 의해 도금된다. 도금액에 포함된 미세패턴에 보이드 없는 첨가제로서 억제제나 촉진제 등의 유기분자가 첨가되어 있다. 이러한 유기분자는 도금...

구리/합금 · 표면기술 · 61권 8호 2010년 · Kazuyoshi UENO · Yuji SHIMADA 외 .. 참조 33회

새로운 검색방법의 하나로 초임계전류중의 아닐분석방법을 검토

구리/합금 · 표면기술 · 61권 8호 2010년 · Kazuyoshi UENO · Yuji SHIMADA 외 .. 참조 13회

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